兩張影象相減之後取絕對值,大的數值暗示差別大。
簡單說,就是拿一張沒有瑕疵的晶元影像,
下面開始介紹論文所利用的瑕疵檢測方式。
假設無瑕疵的影象,稱為參考影像 g,
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是以,作者的演算法,弄巧成拙了。
令 a = sqrt( vTv' ),則作者的 Kernel 為
文章裡有太多灌水,很多公式有推導與較量爭論,
對於後續研究者來說,可以測驗考試不同的濾波器。
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相似度低的點,就判定是待測影像的瑕疵翻譯
第三個問題。
論文上有一個很複雜的器械,叫做濾波器向量,
所使用的電子顯微鏡有些特殊,叫做掃描式電子顯微鏡,
待測影象拿出 p-2、p-1、p、p+1、p+2 ...為中心,
但從數學的角度來看,作者供應一個很棒的框架。
只是,作者在此使用的 Kernel 很簡單,
稍微進步一點,可能把 p 為中心的區塊拿出來比翻譯
那麼就判定兩張影象在 p 點是類似的翻譯
該方法會把所有差異都找出來,致使誤報(False Alarm);
待測影像的區塊是:
c = exp (- (a / e) )
從影像處置懲罰的演算法來講,作者的方式看似普通,
但多數是見招拆招,看一個問題就設計一個解法。
再把這 r 個對照了局加總起來翻譯
作者的方法,是把 r 個比較值正規化之後,
其實就只是把區塊內的像素一個一個掏出來,
較量爭論出區塊的比較值 c:
所以要檢查 p 附近的所有 r 個位置。
然後,再把這差別值取平方,加總起來
沒有做任何處置翻譯
只使用 r 個比較值呢?
影像處置懲罰, Image Processing, 瑕疵檢測, Defect Detection
計算向量的長度;然後把該長度丟入一個指數函數裡。
但是對於「影象相減法」來講,
又假如瑕疵不甚明顯時,則影像相減後的成效,
起首,本論文的方式固然簡單,
就是這麼簡單翻譯
用不到 30 行程式碼,大師說簡單不簡單。
我們國內關於影象處置的碩士論文良多,
等於
是以,是不是要做影象膩滑化處理,照樣需要看運用對象。
因為待測影像與參考影像可能有些許誤差,
上面公式裡的 e 是節制參數,要由利用者去調整。
就不是本來的影象資料,而是一堆邊資訊。
作者的濾波器向量,它真正有採取的動作,
用影象相減法來偵測瑕疵可行嗎?這要看影象的性質。
或許可以多多思考,若何設計一個框架,
其實說穿了,底子沒什麼翻譯
為何我講得很短又簡單?
那麼經過較量爭論後獲得的一維資料,
對於半導體製造來說,這些許差異不影響晶元品質,
這個觀念其實和平滑化(Smoothing)有些相同。
不外,這篇論文研究的影象,來自於電子顯微鏡下的 Wafer,
釀成
對於後續研究者來講,可以測驗考試分歧的核函數,
就是兩張影像在位置 p 的相似度翻譯
看看 Wafer 的照片。
而要看點 p 四周的整個區域 。
作者分成兩個步調,起首是把區塊的差別當成向量,
作者的論文方式明明寫了好幾頁,
論文的問題上有一個單字 Kernel,怎麼我沒提到?
那麼不管區塊對照值 c 的大小如何,
搞欠好可以獲得比作者的實行更好的功效翻譯
也就是說,假如 g(p) 四周和 f(p) 四周類似,
下面就直接舉例。假定區塊的巨細是 2×2,
然後,把這個數值 a 丟到指數函數裡,
最後一個問題。
大家想像一下,如果待測影像整體的亮度偏暗,
萬國翻譯公司們先把它們兩兩相減,獲得:
二者相互比較,若是相似,示意待測影象內沒有瑕疵,
都拿來和參考影像的區塊對照。
浏覽文章前,建議先至 Google 搜尋下載此論文翻譯
第一個疑問翻譯
因為作者底子沒有效到旋積啊!那是假象!
這個數值 a 就是向量的長度翻譯
在晶元的製造過程當中,有各類造成瑕疵的原因,
在參考影像 g 上複製一個大小為 s 的區塊。
如果有些位置不太類似,就示意待測影象內存在瑕疵翻譯
(7-3) (6-4)
每個碩士生都有很棒的構思與創意。
第二個框架是向量濾波器。
然後還陸續援用兩篇參考文獻 [16] 和 [30],
李侑青,資訊工程博士
所以在晶元影象判讀上都邑默示正常。
如果 f'(p) 的數值接近 0,則 p 點判定為瑕疵。
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可是作者能把方式講得很難,論文寫成
每種結果都紛歧樣。
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如果對原始影象直接採用膩滑化處置懲罰,
首先以 p 為中心,
若是每一個點的旋積濾波器,是 Sobel 運算子,
讓後續研究者能輕易抽換演算法的部份流程翻譯
不過,如果大家手邊正拿著這篇論文,
期刊名稱:Machine Vision and Applications
把 p 附近的區塊都拿出來,共 r 個區塊,
因此,本論文的重點價值就在於它的影像比對方式,
可以接管晶元自己有些許的差異,又可以找出瑕疵。
讓演算法的各個步調可以輕易替代。
原因很簡單,因為不合理。
依照 Kernel Function(核函數)的界說,
仿佛一副很了不得的樣子。
再開根號,獲得 a = sqrt( 120 ),
只是作者不採取膩滑化後直接影象相減,
在待測影像 f 上複製出 r 個大小為 s 的區塊翻譯
若是大家不懂什麼是 Wafer 的話,可以點一下上面的超連結,
乘上 r 個點所對應的像素值 f(p+r),
因此,以 p+r 為中心,(共有 r 個不同的中心點)
這篇論文屬於影象處理研究領域中的瑕疵偵測,
可是真正跟檢測方式有關的部門卻很少,
然後再拿一張待測的晶元影像,
什麼框架呢?第一是 Kernel Function,
作者認為,不克不及只看 p 這個點,
這就是參考影樣和待測影像在點 p 上的對照了局。
例如:
偵測的應用對象是半導體晶元(Wafer)。
為什麼我省略了預估像素值的步驟,
H(v翻譯社 v') = exp ( - (a / e) )
我不由要讚嘆,作者用晦澀名詞介紹簡單數學的實力。
萬國翻譯公司覺得這個框架是論文的精髓。
觀念講完,還沒講到的部份是「區塊如何做對照」。
回憶一下前面,我們有 r 個區塊,
然則現有的核函數有幾十種,
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第二個問題。
作者採用的方法,是影象比對法。
待測影象的 r 個區塊,離別和參考影像的區塊對照,
固然作者採用的公式很簡單,
8*8 + 6*6 + 4*4 + 2*2 = 120
喔~其實有的,Kernel 就是指數函數的那玩意翻譯
比照一下我所講的話,可能會覺得有些疑問。
要檢測的影像,稱為待測影象 f。
在影象處理根基課程裡,各人可能學過「影象相減」,
有線性的、有指數的、有複數的、有雙曲線的
也就是把 2 維矩陣資料,排成一維向量資料。
但是,區塊比較值 c 假如大,透露表現兩區塊類似。
跟待測影像的像素值相乘的了局,照舊是小的。
本論文想要利用影像處理的體例,主動檢測出瑕疵翻譯
刊號頁碼:February 2010翻譯社 Volume 21翻譯社 Issue 2, pp 129-141
它就是一個二元的向量函數 H(v, v')。
作者比較 g(p) 和 f(p) 是否相似的方法如下。
把影象中某個點,以 d 種濾波器做旋積較量爭論。
所以要算出 r 個比較值。
事實上,作者的方式就是這麼簡單。
然則作者供應了一個很複雜的數學框架,
以晶元的 SEM 影像來講,每次製造的晶元長得都不太一樣,
怎麼知道影象中某一個點 p 是不是類似呢?
但我們無妨可以測驗考試點竄一下濾波器內容,
作者:Maria Zontak and Israel Cohen
對照完以後會獲得 r 個區塊對照了局,
因為在電子顯微鏡底下,影象像素可能代表著微米,
例如雜物掉落、印刷失誤、蝕刻異常。
把這些比較值加起來,
論文名稱:Defect detection in patterned wafers using anisotropic kernels
講到這裡,已經把整篇論文的方法講完了。
怎麼在我的介紹裡面沒講到這個?
英文是:Scanning Electron Microscope(SEM)翻譯
致使漏報(Miss)翻譯
加總得一個預估的待測像素值 f'(p),
參考影象的區塊是:
作者的想法是,參考影像拿出以 p 為中間的區塊,
論文的介紹到此竣事翻譯下面是小我的一些心得。
傳統影像處理的影像相減法,只有比對點 p翻譯
可能在微米、奈米品級有些許差別翻譯
可能無法分辨是晶元的差別照樣瑕疵的差異,
然則作者利害的是,他可以寫成向量濾波器,
以半導體製程來講,可能連一個像素的瑕疵都要抓出來。
將把一個像素的瑕疵給消弭掉了,結果瑕疵檢測不出來。
d-vector filters G = (g1, g2翻譯社 ..., gd)
(9-1) (8-2)
萬國翻譯公司在這邊解釋一下作者可能的思路。
說他這組濾波器是採用他人的論文設計,
固然作者只是純真地把每一個點擺成一維資料,
我用 Matlab 實做出作者的演算法,
本篇文章引用自此: http://ip119.pixnet.net/blog/post/6553873-%E4%BB%A5-kernel-function-%E5%81%9A%E5%BD%B1%E5%83%8F%E7%9有關各國語文翻譯公證的問題歡迎諮詢萬國翻譯公司02-23690931
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